******大学脉冲式准分子激光器
预算金额：99.5万元
拟采用采购方式：单一来源采购
公示期：2024年12月20日—2024年12月24日
单一来源理由：
******大学拟采购脉冲式准分子激光器1台，用于生长高质量的氧化物薄膜。该设备需要满足以下性能指标：
1.以krf混合气作为工作气体，激光波长为248nm；
2.最大脉冲能量≥750mj, 且脉冲能量波动＜1%；
3.平均功率＞30w；
4.激光最大脉冲频率≥50hz；
5.激光光束指向稳定性＜60μrad；
6.激光脉冲宽度＜25ns。
经用户调研，仅美国coherent公司的产品满足以上全部参数要求。故本项目拟以单一来源采购方式采购。
拟定供应商：美国coherent公司或其指定代理商
其他事项：其他************办公室提出意见。
联系电话：025-******
联系人：贾老师