基本信息：

申购单号：CM************

签约时间：发布竞价结果后7天内签约合同

******大学教学实验及实训基地设备更新项目-物理学专业实验平台建设

送货时间：发布竞价结果后90天内送达

******大学

安装要求：免费上门安装（含材料费）

报价要求：国产含税

收货地址：重庆市/市辖区/北碚区/****

发票类型：增值税专用发票

币种：人民币

预算：******

付款方式：货到后按照履约保证金支付方式付款

备注说明：各竞标商须知：1.所有货物要求免费送货上门、免费安装调试、原厂包装，竞标商如不能提供免费送货上门和免费安装调试，必须注明，申购用户认可的，方可成交。2.成交金额在5万元以上的，供方应在质量验收合格后，需方支付货款前，成交厂商向需方交纳成交总金额的5%作为质保金。质保金******************银行行号： ******0474；质保金退还事宜联系电话：******；4.如竞标货物为进口的，必须填写品牌、型号、厂家、产地，并在报价说明里面填写报价方式为DDP/DAP等，如不填写报价方式的则默认为DDP报价。5.合同模板请见：******/s/sbc/sbjjjgl/******/******.html;6.请最后成交供应商必须提供增值税专用发票。

申购明细：

采购内容：PVD 薄膜沉积系统

数量：1.0套

预算单价：560000.0

品牌：杭州大华

型号：MiniLab-60S

规格参数：[{\key\:\1\,\value\:\1、\\t溅射沉积室\
沉积室、连接管道和法兰均采用SUS304不锈钢，材料致密放气量小；前开门结构，有观察窗和挡板，磁控靶安装在下底盘，样品台在上顶板，腔室带防污内衬，可拆卸清洗。\
2、真空系统\
真空系统\
★1）极限真空度：优于3×10-5Pa (空载经烘烤除气后）\
2）恢复真空：从大气抽至6×10-4Pa≤40min（充入干燥氮气、短时间暴露大气开始抽气）\
3）真空室漏率：关机12小时真空度≤5Pa。（新设备空载）\
★4）系统真空检漏漏率：小于5.0×10-10Pa·m3/s；内外表面电解抛光处理。\
3、样品台\
1）样品台：抽屉式结构可装载最大4英寸基片托（方片尺寸100mm×100mm）可以根据客户样品形状和大小定制样品托。\
2）样品台旋转：转速0～30rpm连续可调；步进电机控制，转动平稳。\
3）工转机构：采用上驱动，中心悬挂方式，磁流体无油密封传动。转动支承部位配有水冷套装置，避免加热器等热源对运动精度的不良影响。加热器周围有隔热保护罩，使基片受热均匀。\
4）样品台加热：采用数字温控仪，进口电阻合金进行加热，加热炉温度：室温～600℃，由热电偶闭环反馈控制，可控可调。控温精度±1℃，可分段设定升温斜率。加热区内，温度均匀性±5℃。\
4、磁控溅射靶组件\
安装4个磁控溅射靶组件，其中2个靶位可溅射磁性材料（如镍或铁等）。 \
5、工艺气路\
1）3路质量流量计控制的气路，可外接多种气体，其中Ar：500sccm、O2：50sccm、N2：100sccm 精度±1%，\
2）前端带电磁截止阀和过滤器，后端配有混气室；\
6、溅射电源\
1）射频电源：功率500W，频率13.56MHz，全自动匹配； 数量：1套\
2）直流溅射电源：最大输出功率：500W；输出电压：0～800V可调 数量：2套 （其中一台直流电源一拖二，切换使用）\
7、水路系统\
SUS304不锈钢水排，保障循环供水到每个水冷部件；每路冷却水采用水流感应开关检测供水状态，执行异常报警。\
8、软件及其功能（配套控制软件）\
★1、投标人提供的成品软件应具有著作版权，成品软件应具有一键式操作功能，并配置多种标准工艺参数包，可以直接调取执行；2、应具有自选参数功能，可设定好目标真空度、样品目标加热温度、溅射电源工作参数，系统自动开始抽真空，达到目标真空度后开始加热，达到目标温度后根据设定的功率开启溅射电源，溅射时间以设定的工作参数为准；\
▲3、同时对溅射电源的功率和溅射时间可以设定多个数值，实现不同输出功率、不同镀膜时间的控制，进而实现多靶轮流溅射和共溅射；\
★4、完备的工艺菜单编辑功能，大容量菜单存储空间，满足客户菜单存储需求（大于500个）；\
5、具有操作日志记录功能，记录操作者操作时的关键信息。\
▲6、机身配置物联网+二维码服务系统:手机扫描二维码进入微信操作界面可显示仪器信息、关注公众号、点击查看产品使用说明书、在线故障报修、用户注册等内容，投标人须提供二维码识别证明材料。\
9、工业冷水机\
采用微电脑PLC控制，可自动控制整机运行，全功能防错操作系统，电气部分均为国际品牌，保证机器工作稳定，寿命长久。全钛管式水箱蒸发器，防止纯水在输送过程中产生固体和其它金属杂质。精密数显温度控制器，能精确控制水温±1℃，按键式操作，安装简便，静电喷塑外壳，欧化设计，美观大方，外表板采用快速拆装形式。\
10、阀门气路单元\
11、备品备件 1套\
（设备的详细参数见附件）\,\important\:true}]

质保及售后服务：按行业标准提供服务

采购内容：PVD 薄膜沉积系统

数量：1.0套

预算单价：560000.0

品牌：矩阵科技

型号：RS-B400 Series

规格参数：[{\key\:\1\,\value\:\1、\\t溅射沉积室\
沉积室、连接管道和法兰均采用SUS304不锈钢，材料致密放气量小；前开门结构，有观察窗和挡板，磁控靶安装在下底盘，样品台在上顶板，腔室带防污内衬，可拆卸清洗。\
2、真空系统\
真空系统\
★1）极限真空度：优于3×10-5Pa (空载经烘烤除气后）\
2）恢复真空：从大气抽至6×10-4Pa≤40min（充入干燥氮气、短时间暴露大气开始抽气）\
3）真空室漏率：关机12小时真空度≤5Pa。（新设备空载）\
★4）系统真空检漏漏率：小于5.0×10-10Pa·m3/s；内外表面电解抛光处理。\
3、样品台\
1）样品台：抽屉式结构可装载最大4英寸基片托（方片尺寸100mm×100mm）可以根据客户样品形状和大小定制样品托。\
2）样品台旋转：转速0～30rpm连续可调；步进电机控制，转动平稳。\
3）工转机构：采用上驱动，中心悬挂方式，磁流体无油密封传动。转动支承部位配有水冷套装置，避免加热器等热源对运动精度的不良影响。加热器周围有隔热保护罩，使基片受热均匀。\
4）样品台加热：采用数字温控仪，进口电阻合金进行加热，加热炉温度：室温～600℃，由热电偶闭环反馈控制，可控可调。控温精度±1℃，可分段设定升温斜率。加热区内，温度均匀性±5℃。\
4、磁控溅射靶组件\
安装4个磁控溅射靶组件，其中2个靶位可溅射磁性材料（如镍或铁等）。 \
5、工艺气路\
1）3路质量流量计控制的气路，可外接多种气体，其中Ar：500sccm、O2：50sccm、N2：100sccm 精度±1%，\
2）前端带电磁截止阀和过滤器，后端配有混气室；\
6、溅射电源\
1）射频电源：功率500W，频率13.56MHz，全自动匹配； 数量：1套\
2）直流溅射电源：最大输出功率：500W；输出电压：0～800V可调 数量：2套 （其中一台直流电源一拖二，切换使用）\
7、水路系统\
SUS304不锈钢水排，保障循环供水到每个水冷部件；每路冷却水采用水流感应开关检测供水状态，执行异常报警。\
8、软件及其功能（配套控制软件）\
★1、投标人提供的成品软件应具有著作版权，成品软件应具有一键式操作功能，并配置多种标准工艺参数包，可以直接调取执行；2、应具有自选参数功能，可设定好目标真空度、样品目标加热温度、溅射电源工作参数，系统自动开始抽真空，达到目标真空度后开始加热，达到目标温度后根据设定的功率开启溅射电源，溅射时间以设定的工作参数为准；\
▲3、同时对溅射电源的功率和溅射时间可以设定多个数值，实现不同输出功率、不同镀膜时间的控制，进而实现多靶轮流溅射和共溅射；\
★4、完备的工艺菜单编辑功能，大容量菜单存储空间，满足客户菜单存储需求（大于500个）；\
5、具有操作日志记录功能，记录操作者操作时的关键信息。\
▲6、机身配置物联网+二维码服务系统:手机扫描二维码进入微信操作界面可显示仪器信息、关注公众号、点击查看产品使用说明书、在线故障报修、用户注册等内容，投标人须提供二维码识别证明材料。\
9、工业冷水机\
采用微电脑PLC控制，可自动控制整机运行，全功能防错操作系统，电气部分均为国际品牌，保证机器工作稳定，寿命长久。全钛管式水箱蒸发器，防止纯水在输送过程中产生固体和其它金属杂质。精密数显温度控制器，能精确控制水温±1℃，按键式操作，安装简便，静电喷塑外壳，欧化设计，美观大方，外表板采用快速拆装形式。\
10、阀门气路单元\
11、备品备件 1套\
（设备的详细参数见附件）\,\important\:true}]

质保及售后服务：按行业标准提供服务

采购内容：PVD 薄膜沉积系统

数量：1.0套

预算单价：560000.0

品牌：杭州大华

型号：MiniLab-60S

规格参数：[{\key\:\1\,\value\:\1、\\t溅射沉积室\
沉积室、连接管道和法兰均采用SUS304不锈钢，材料致密放气量小；前开门结构，有观察窗和挡板，磁控靶安装在下底盘，样品台在上顶板，腔室带防污内衬，可拆卸清洗。\
2、真空系统\
真空系统\
★1）极限真空度：优于3×10-5Pa (空载经烘烤除气后）\
2）恢复真空：从大气抽至6×10-4Pa≤40min（充入干燥氮气、短时间暴露大气开始抽气）\
3）真空室漏率：关机12小时真空度≤5Pa。（新设备空载）\
★4）系统真空检漏漏率：小于5.0×10-10Pa·m3/s；内外表面电解抛光处理。\
3、样品台\
1）样品台：抽屉式结构可装载最大4英寸基片托（方片尺寸100mm×100mm）可以根据客户样品形状和大小定制样品托。\
2）样品台旋转：转速0～30rpm连续可调；步进电机控制，转动平稳。\
3）工转机构：采用上驱动，中心悬挂方式，磁流体无油密封传动。转动支承部位配有水冷套装置，避免加热器等热源对运动精度的不良影响。加热器周围有隔热保护罩，使基片受热均匀。\
4）样品台加热：采用数字温控仪，进口电阻合金进行加热，加热炉温度：室温～600℃，由热电偶闭环反馈控制，可控可调。控温精度±1℃，可分段设定升温斜率。加热区内，温度均匀性±5℃。\
4、磁控溅射靶组件\
安装4个磁控溅射靶组件，其中2个靶位可溅射磁性材料（如镍或铁等）。 \
5、工艺气路\
1）3路质量流量计控制的气路，可外接多种气体，其中Ar：500sccm、O2：50sccm、N2：100sccm 精度±1%，\
2）前端带电磁截止阀和过滤器，后端配有混气室；\
6、溅射电源\
1）射频电源：功率500W，频率13.56MHz，全自动匹配； 数量：1套\
2）直流溅射电源：最大输出功率：500W；输出电压：0～800V可调 数量：2套 （其中一台直流电源一拖二，切换使用）\
7、水路系统\
SUS304不锈钢水排，保障循环供水到每个水冷部件；每路冷却水采用水流感应开关检测供水状态，执行异常报警。\
8、软件及其功能（配套控制软件）\
★1、投标人提供的成品软件应具有著作版权，成品软件应具有一键式操作功能，并配置多种标准工艺参数包，可以直接调取执行；2、应具有自选参数功能，可设定好目标真空度、样品目标加热温度、溅射电源工作参数，系统自动开始抽真空，达到目标真空度后开始加热，达到目标温度后根据设定的功率开启溅射电源，溅射时间以设定的工作参数为准；\
▲3、同时对溅射电源的功率和溅射时间可以设定多个数值，实现不同输出功率、不同镀膜时间的控制，进而实现多靶轮流溅射和共溅射；\
★4、完备的工艺菜单编辑功能，大容量菜单存储空间，满足客户菜单存储需求（大于500个）；\
5、具有操作日志记录功能，记录操作者操作时的关键信息。\
▲6、机身配置物联网+二维码服务系统:手机扫描二维码进入微信操作界面可显示仪器信息、关注公众号、点击查看产品使用说明书、在线故障报修、用户注册等内容，投标人须提供二维码识别证明材料。\
9、工业冷水机\
采用微电脑PLC控制，可自动控制整机运行，全功能防错操作系统，电气部分均为国际品牌，保证机器工作稳定，寿命长久。全钛管式水箱蒸发器，防止纯水在输送过程中产生固体和其它金属杂质。精密数显温度控制器，能精确控制水温±1℃，按键式操作，安装简便，静电喷塑外壳，欧化设计，美观大方，外表板采用快速拆装形式。\
10、阀门气路单元\
11、备品备件 1套\
（设备的详细参数见附件）\,\important\:true}]

质保及售后服务：按行业标准提供服务

附件：